GL C-시리즈(Corrosion Detection)는 금속 박막 기술 (Metal Thin? Film Technology)로 만든 센서를? 부식성 케미컬의 누출을 감지하고자? 개발된 매우 작은 크기와 우수한 안정성을 가진 제품입니다.?케미컬 공급장치 와 공정 장비에 적합한 최신 기술 제품입니다. ?

(주)리더스앤글로벌은 오직 반도체 / LCD / LED / 태양광 산업용 고청정
제품 만을 생산하고 있습니다.
우리는 고객들 위해 최고의 품질과 서비스를 약속하며 끊임없이 노력하여 고객들의 감동을 드리도록 하겠습니다.


 

 

부식성 케미칼의 정확한 누출 감지 및 알람을 발생하기 위해서 고감도의 성능을 가지도록 특수한 박막구조로 설계되고 금속박막공정을 통해 박막두께를 nm 수준으로 제어된 센서입니다.

 

센서가 동작하기 위한 소비전력을 최소화하고, 0.2% 이내 재현성, 0.25% 정밀도를 가집니다.

 

ISA, SEMI, SEMASPEC,? ASTM,? ASME, FM Approval 와 같은 국제 규격을 적용하여 설계한 제품

 

4~20mV 출력, Ethernet, 2.4GHz 무선통신 (Optional)

 

 

Gas and Chemical Supply System (gas cabinets/rack, VMB/P, LDS, CCS)

 

Gas Abatement System (gas scrubber)

 

Process Tools( gas jungle box/ IGS)

 

Bulk Supply Gas System (BSGS)

 

Gas Tubing/Piping

 

 

 Application Chemical

 HCl, DCS, TCS, SiCl4

 Full Scale Range

 0 to 100%(corrosion damage region of sensor film)

 Accuracy

 ± 1.0% FS

 Output

 4-20 mA? (2 Wire)

 Power Supply

 DC 12~24V

 Operating Temp

 0 to 70 ℃

 Operating Humidity

 0 to 85 %

 Material of sensor

 Metal compound thin film

 Response time

 0.1 ~ 10 sec

 Length of Sensor Cable

 Maximum 20m ( coaxial shield cable )

 Weight

 100g(Standard single model)

 Electrical Connector

 Pigtail, SMP, others

 Fitting Size

 ¼” , 3/8”, ½”, To be specified for the others