압력센서(PT)는 금속 박막 기술 (Metal Thin Film Technology)로 만든
센스를 고청정 압력측정기에 사용함으로써 최소 내부 체적과 매우 우수한
안정성을 가진 제품입니다.
가스공급장치와 공정 장비에 적합한 최신 기술 제품입니다.

(주)리더스앤글로벌은 오직 반도체 / LCD / LED / 태양광 산업용 고청정
제품 만을 생산하고 있습니다.
우리는 고객들 위해 최고의 품질과 서비스를 약속하며 끊임없이 노력하여 고객들의 감동을 드리도록 하겠습니다.


 

 

CE Certified / RoHS compliant

  매우 우수한 안정성(J-T 효과(냉각 효과) 때문에 측정값의 오류 또는 불안정성)
 

부식성 가스를 위한 Hastelloy Diaphragm, Stainless Steel 316L double-melted available

 

외부 전파 방해 또는 간섭을 막기 위한 EMI/EMC 필터를 설치하고 외부와의 차단 설계

 

가스 접촉 부위에 전해 연마 와 청정룸에서 세척과 포장

 

0.02% 이내 재현성, 0.25% 정밀도

 

ISA, SEMI, SEMASPEC, ASTM, ASME, FM Approval 와 같은 국제 규격을 적용하여 설계한 제품

 

 

Gas Supply System (gas cabinets/rack, VMB/P, LDS)

 

Gas Abatement System (gas scrubber)

 

Process Tools( gas jungle box/ IGS)

 

Bulk Supply Gas System (BSGS)

 

Gas Tubing/Piping

 

 Repeatability

 <0.02% FSO

 Full Scale Range

 0(-14.7) to 100, 250, 500, 3000 , 10000 psi

 Burst Pressure

 600%x F.S for range from 0 to 250psi, 500%x F.S for range from 251 to 3000 psi,
 400%x F.S for range from 10K

 Accuracy

 ± 0.25% FS (in accordance with ISA 37.3)

 Output

 4-20 mA (2 Wire)

 Power Supply

 DC 24V

 Operating Temp

 -40 to 150 ℃(200℃ Optional)

 Calibrated Temp

 -40 to 125 ℃

 Thermal Effect

 <± 0.03% FSO / degree C within compensated temp

 Materials Exposed To Gases

 SUS316L (Double Melt, Hastelloy Optional)

 Seal Method

 Ultra Precision Electron Beam Welding

 Internal Volume

 1.50cc

 Surface Finish

 EP treated Ra : <0.25 ㎛ ( 10 μinch, 5 μinch optional, in accordance with SEMI
 F19, F37)

 Fitting

 Metal face seal (VCR, UJR) and others (welded, NPT/PT, Swagelok compatible)

 Electrical Connector

 Pigtail, Tajimi, Bendix, D-Sub

 Fitting Size

 1/4”, 3/8”, 1/2”, To be specified for the others

 

 

Single Ended Type
[GL P □- □ □ □ P - S- M4 -□ □ □ □]

 

Flow Through Type
[GL P □ -□ □ □ P - T -M4 -□ □ □ □]